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文檔簡介
1、垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器，是一種新型的半導(dǎo)體激光器，具有閾值電流低，功耗小，效率高，發(fā)散角小等優(yōu)點，在光互連和光信息等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。
本文在簡要介紹垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器的定義和結(jié)構(gòu)原理的基礎(chǔ)上，闡述了VCSEL的研究進(jìn)展及應(yīng)用情況，并對VCSEL制備工藝中部分工藝進(jìn)行研究和優(yōu)化；概述了VCSEL完整的制備工藝流程；采用磁控濺射的方法制備了具有高熱導(dǎo)率的A1N薄膜，并利用SEM，分光光度計等對薄膜進(jìn)行了測試，并對結(jié)果
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