基于邊界作動的薄膜反射鏡熱變形誤差消除方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文基于邊界作動的薄膜反射鏡熱變形誤差消除方法研究RESEARCHONELIMINATIONOFTHERMALDEFMATIONOFMEMBRANEREFLECTWITHBOUNDARYACTUATION陸一凡陸一凡哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2014年7月ClassifiedIndex:V476.3U.D.C:621DissertationftheMasterDegreeinEngineeringRESEARCHO

2、NELIMINATIONOFTHERMALDEFMATIONOFMEMBRANEREFLECTWITHBOUNDARYACTUATIONCidate：YifanLuSupervis：Prof.ZongquanDengAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalDesignTheyAffiliation：SchoolofMechatronicsEnginee

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