嵌入式圓時(shí)柵傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定方法研究及誤差分離與溯源.pdf

1、近年來(lái)，隨著我國(guó)能源（風(fēng)電、核電、水電）、機(jī)車、航空航天等行業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)大型、精密齒輪傳動(dòng)副的需求進(jìn)一步增加，從而對(duì)大型、精密齒輪加工機(jī)床有迫切的市場(chǎng)需求。而大型齒輪制造機(jī)床面臨的挑戰(zhàn)之一就是機(jī)床傳動(dòng)鏈末端的大型轉(zhuǎn)臺(tái)的精確分度問(wèn)題，轉(zhuǎn)臺(tái)的定位精度直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量等級(jí)，而這種大型轉(zhuǎn)臺(tái)所提出的技術(shù)要求是趨于極端的，如轉(zhuǎn)臺(tái)越大越好、轉(zhuǎn)臺(tái)具有較高的定位精度、高速重載、轉(zhuǎn)臺(tái)中空等，這些條件制約了傳統(tǒng)高精度位移傳感器的安裝。
　　針對(duì)

2、以上極端條件下位置檢測(cè)問(wèn)題，本文在場(chǎng)式時(shí)柵技術(shù)的基礎(chǔ)上，基于新的行波形成方法設(shè)計(jì)出一種新型嵌入式圓時(shí)柵傳感器，其將傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的某個(gè)具有機(jī)械等分特性的部件如齒輪作為傳感器的轉(zhuǎn)子，再由外置的小體積離散測(cè)頭加外置電路實(shí)現(xiàn)角位移測(cè)量。其優(yōu)勢(shì)在于傳感器不需要專門的轉(zhuǎn)子，離散測(cè)頭嵌入傳動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)部實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量，因此能應(yīng)用于上述極端工作條件解決位置檢測(cè)問(wèn)題，且傳感器具有抗振動(dòng)、耐油污、精度高、經(jīng)濟(jì)性好的優(yōu)點(diǎn)，因此，研究嵌入式圓時(shí)柵傳感器具有很大的現(xiàn)實(shí)意義

3、。本文的創(chuàng)新成果主要有以下幾點(diǎn)：
　?。?）在場(chǎng)式時(shí)柵技術(shù)的基礎(chǔ)上，基于一種新的行波形成方法設(shè)計(jì)出一種新型嵌入式圓時(shí)柵傳感器，并建立了其測(cè)量原理的數(shù)學(xué)模型。
　?。?）提出了基于小波變換的線性插值算法對(duì)嵌入式圓時(shí)柵傳感器進(jìn)行了比較標(biāo)定；應(yīng)用基于測(cè)量值微分的自標(biāo)定模型對(duì)傳感器進(jìn)行了動(dòng)態(tài)自標(biāo)定。
　　（3）分析了嵌入式圓時(shí)柵傳感器的誤差特性，提出用傅里葉變換的方法實(shí)現(xiàn)誤差溯源，進(jìn)而針對(duì)對(duì)傳感器精度影響較大的誤差源頭，提出相