絕對式時柵位移傳感器的增量式實現(xiàn)方法研究.pdf

1、作為信息技術三大核心技術之一的傳感技術，綜合了物理、化學、生物、電子和微電子、材料、精密機械、微細加工和實驗測量等方面的知識和技術，將是21世紀人們在高新技術發(fā)展方面爭奪的一個制高點。在國外，各發(fā)達國家都將傳感器技術視為現(xiàn)代高技術發(fā)展的關鍵。我國自上世紀80年代末以來也將傳感器技術列入國家高新技術發(fā)展的重點。籍著世界現(xiàn)代技術發(fā)展的大潮，為我國加速新一代傳感器的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化、縮小與發(fā)達國家技術水平的差距提供了契機。 基于時空坐標轉

2、換TST方法的圓型場式時柵就是我國自主研發(fā)的一種全新的智能型角位移傳感器，其不但測量精度高、性價比高、適應性強，而且無傳統(tǒng)高精度柵式位移傳感器的柵線刻劃難題。無疑，場式時柵系列產(chǎn)品有著廣闊的發(fā)展前景。但是在產(chǎn)品推廣初期，延緩其推廣使用的不是技術問題，而是缺少相匹配的上位機或數(shù)控裝置。鑒于此，本文根據(jù)增量光柵的增量實現(xiàn)方法，針對其數(shù)控裝置，提出了場式時柵的增量實現(xiàn)方法，有效解決了場式時柵與數(shù)控裝置的數(shù)據(jù)變換和傳輸問題，實現(xiàn)了兩者之間的數(shù)據(jù)

3、兼容。 本文研究的內容是場式時柵的增量式實現(xiàn)方法及其實現(xiàn)，主要內容如下： 1)分析了增量式光柵的工作原理以及位移增量實現(xiàn)方法。 2)介紹了圓型場式時柵的理論基礎時空坐標轉換TST方法、自身的工作原理及特點，并在增量式光柵位移增量方法基礎上提出了場式時柵的增量實現(xiàn)方法。 3)設計了場式時柵增量實現(xiàn)方法控制電路模塊，相關的程序流程和軟件設計，并通過仿真和實驗，初步驗證了時柵增量實現(xiàn)方法的正確性和可行性。