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文檔簡介
1、微小型機(jī)電器件涉及不同組成材料、加工工藝以及不同的組裝技術(shù)等,一次加工成型往往不可行,多是由尺寸小、強度和剛度較低的微小零件組裝而成,且裝配精度比較高。微型零件的膠粘接技術(shù)因其具有較低的應(yīng)力和溫度,成為微型零件的重要裝配技術(shù)。同時,膠粘接裝配過程中,由于各微小零件熱膨脹系數(shù)的不匹配,會導(dǎo)致微小零件的內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力,影響整個裝配器件的使用性能和可靠性。為減小或者避免裝配引入的應(yīng)力、優(yōu)化器件的制作,需要對應(yīng)力進(jìn)行量化測量,研究導(dǎo)致應(yīng)力產(chǎn)生的各
2、類因素。
本文利用基于壓阻效應(yīng)的擴(kuò)散電阻,研究膠粘接裝配中微小型零件粘貼于基板上所引起的應(yīng)力問題。為了驗證集成擴(kuò)散電阻的微小零件進(jìn)行加工的可能性,設(shè)計了濕法與干法刻蝕結(jié)合的微機(jī)械加工工藝。首先,確定了利用壓阻效應(yīng)進(jìn)行應(yīng)力的設(shè)計基礎(chǔ),完成整個零件的初步設(shè)計,包括:壓阻系數(shù)選擇、擴(kuò)散電阻尺寸設(shè)計及位置布置;制定工藝流程,工藝的適應(yīng)性以及兼容性貫穿整個設(shè)計過程。
膠粘接裝配體系由不同材料的零部件構(gòu)成,主要包括微小零件、膠粘
3、劑和基板等。這些材料的熱膨脹系數(shù)往往存在很大差別,膠粘劑固化收縮時,膠粘接各零部件之間存在相互作用力,產(chǎn)生應(yīng)力,進(jìn)而影響器件性能。本文以膠粘裝配后產(chǎn)生的應(yīng)力測量為例,使用設(shè)計制作的集成擴(kuò)散電阻的微小零件試樣作為測量載體,基于壓阻效應(yīng),系統(tǒng)的研究了微小零件膠粘接中涉及的膠粘劑種類及熱處理對應(yīng)力的影響,原位獲取膠粘接裝配后測試點的應(yīng)力偏差。
微小零件中含有敏感筋(敏感結(jié)構(gòu))關(guān)鍵部位,施加于其上的應(yīng)力影響整個微小零件的輸出性能,本文
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