壓電驅(qū)動精密流量閥控制系統(tǒng)的設(shè)計與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著微流體精密控制在航空航天、深海探測、醫(yī)藥配比、軍工國防等方面得到發(fā)展與應(yīng)用，人們對高壓微流體控制技術(shù)的要求也越來越高，以滿足更小系統(tǒng)質(zhì)量、體積及更高系統(tǒng)性能的需求。為了控制壓電精密流量閥的流量，須對流量閥閥芯的開合作高精度調(diào)節(jié)，本文設(shè)計了壓電驅(qū)動精密流量閥控制系統(tǒng)。
　　壓電陶瓷可以實現(xiàn)微納米級高精度定位。本文先對壓電精密流量閥控制系統(tǒng)的工作原理進行了分析，證明壓電流量閥控制系統(tǒng)的實現(xiàn)可行性；依據(jù)壓電陶瓷的電壓驅(qū)動型硬件電路的

2、原理，圍繞高精度運放OPA277P與高壓運放PA90構(gòu)成的復(fù)合式高壓運算放系統(tǒng)，設(shè)計了壓電精密流量閥控制系統(tǒng)的硬件電路，測試結(jié)果證明該配套電路線性度良好、電壓紋波低、動態(tài)響應(yīng)快且可靠性高；本文又基于模糊自適應(yīng)PID控制器，針對壓電陶瓷具有復(fù)雜的非線性，具有較大的不確定性，較難獲得精確的數(shù)學(xué)模型的特點，設(shè)計了壓電精密流量閥控制系統(tǒng)的軟件程序，并將其用于控制閥芯的精密定位。
　　最后，采用數(shù)據(jù)采集卡進行電壓數(shù)據(jù)采集，使用激光位移傳感器

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