壓電陶瓷驅(qū)動電源及其控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、超精密機械加工、集成電路制造技術(shù)、航天技術(shù)等現(xiàn)代高新技術(shù)的不斷發(fā)展,對超精密定位技術(shù)提出了新的要求。在新的運用中,我們不但要求它具有良好的定位精度,還要求它具有優(yōu)良的動態(tài)特性。壓電陶瓷微位移器具有位移分辨力高、頻響高、承載力大、控制簡單、沒有發(fā)熱、不易受外界電磁場干擾等優(yōu)點,廣泛運用于超精密定位系統(tǒng)中。壓電陶瓷是由逆壓電效應(yīng)工作的,其定位精度與其驅(qū)動電源的動、靜態(tài)性能直接相關(guān)。
　　本文對比了各類壓電陶瓷驅(qū)動電源原理,采用誤差放大

2、式驅(qū)動電源方案,設(shè)計了壓電陶瓷驅(qū)動控制系統(tǒng)。主要研究內(nèi)容包括：⑴壓電陶瓷數(shù)字驅(qū)動控制器研制。以Altera公司cyclone系列FPGA為主控芯片,設(shè)計了壓電陶瓷數(shù)字驅(qū)動控制器,包括數(shù)據(jù)采集模塊、數(shù)模轉(zhuǎn)換電路、鍵盤顯示模塊等。設(shè)計基于FPGA的DDS信號發(fā)生器,實現(xiàn)頻率、幅值可調(diào)的正弦波、三角波、方波等控制信號輸出。⑵壓電陶瓷驅(qū)動控制電源箱研制。研制125V輸出精密線型直流穩(wěn)壓源,為驅(qū)動控制系統(tǒng)提供穩(wěn)定的供電。完成誤差放大式驅(qū)動電源與高