微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的精密車(chē)削加工技術(shù)研究.pdf

1、太赫茲微波器件在通信、探測(cè)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊，隨著人們對(duì)功率、效率、頻帶等性能的要求日益提高，對(duì)微波器件的加工精度也提出了更高的要求?，F(xiàn)有的微波器件加工工藝逐漸不能滿足其精度要求，需要采用精度更高的加工技術(shù)對(duì)其加工。
　　針對(duì)微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)深寬比較大，加工困難，加工精度低的問(wèn)題，本文提出用單點(diǎn)金剛石車(chē)削技術(shù)加工微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的方案，對(duì)微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)車(chē)削軌跡規(guī)劃，車(chē)削變形有限元仿真以及切削實(shí)驗(yàn)進(jìn)行研究。
　　利用等

2、弦高法對(duì)微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)進(jìn)行直線插補(bǔ)模式的軌跡規(guī)劃，在保證輪廓逼近精度的同時(shí)大大提高了加工效率?；贐樣條理論的研究，提出微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)的三次均勻B樣條插補(bǔ)模式軌跡規(guī)劃方法，進(jìn)一步提高了輪廓逼近精度。同時(shí)，研究正弦結(jié)構(gòu)車(chē)削用刀具參數(shù)的計(jì)算方法，并對(duì)加工軌跡進(jìn)行刀尖圓弧半徑補(bǔ)償。
　　為研究切削工藝參數(shù)對(duì)工件變形的影響，本文首先建立熱力耦合的三維有限元切削模型，仿真研究切削工藝參數(shù)對(duì)切削力和切削熱的影響規(guī)律；然后基于切削過(guò)程中的切

3、削載荷，建立車(chē)削變形有限元模型，利用“單元生死”技術(shù)和切削載荷移動(dòng)加載技術(shù)仿真模擬工件切削過(guò)程，得到工件的變形量，并為實(shí)際切削中工藝參數(shù)的選擇提供理論指導(dǎo)。
　　對(duì)微波內(nèi)腔調(diào)制結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工實(shí)驗(yàn)研究，分析對(duì)刀誤差對(duì)加工精度的影響，并提出了減小對(duì)刀誤差的方案。分別對(duì)插補(bǔ)模式、切削工藝參數(shù)以及深寬比等影響加工精度的因素進(jìn)行切削實(shí)驗(yàn)對(duì)比，并用Taylor Hobson輪廓儀對(duì)剖分開(kāi)的工件進(jìn)行精度檢測(cè)，獲得了較好的工件質(zhì)量，驗(yàn)證了上述理論的