基于相位調(diào)制的飛秒激光微納米加工技術(shù)研究.pdf

1、飛秒激光加工具有加工分辨率高，真三維加工能力等特點(diǎn)。而飛秒激光加工的固化單元點(diǎn)的高寬比相對(duì)較大，影響其加工三維分辨率的提高。超分辨技術(shù)是一種使聚焦光斑小于艾利斑，提高光學(xué)加工分辨率的技術(shù)。本文在863計(jì)劃先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域極端制造技術(shù)專題支持下(基于超快激光的非硅三維微納米加工技術(shù)：2006AA04Z311)利用超衍射理論，采用理論計(jì)算與實(shí)際實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方法，對(duì)飛秒激光加工能力做了進(jìn)一步改善，主要工作內(nèi)容包括：
　　 ⑴分析飛秒激

2、光的超衍射原理，對(duì)相位型調(diào)制的超分辨能力進(jìn)行分析計(jì)算，運(yùn)用遺傳算法進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化，分別設(shè)計(jì)并制作了具有高寬比優(yōu)化能力和線寬優(yōu)化能力的超分辨相位調(diào)制片；
　　 ⑵用飛秒激光加工實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)對(duì)相位調(diào)制片的超分辨能力進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析，分別得到了高寬比優(yōu)化和線寬優(yōu)化后的固化單元，且對(duì)于固化單元的高寬比和固化加工線寬實(shí)現(xiàn)了10％～20％的改善；
　　 ⑶利用蒙特卡羅方法進(jìn)行理論建模與實(shí)驗(yàn)分析，并分析了相位調(diào)制前后的聚焦光斑空間分布變化以及