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文檔簡介
1、本文以半導體設(shè)備底座主要工藝方案和工藝參數(shù)為研究手段,以提高半導體設(shè)備底座質(zhì)量、降低產(chǎn)品報廢率為研究目標,在傳統(tǒng)工藝的基礎(chǔ)上,通過實驗研究確定了冒口、冷鐵等關(guān)鍵工藝,優(yōu)化了鑄造工藝,保證半導體設(shè)備底座質(zhì)量滿足標準要求;設(shè)計了復雜半導體設(shè)備底座的鑄造工藝規(guī)范。通過上述工藝研究,辦證產(chǎn)品質(zhì)量,各項指標達到客戶要求。主要系統(tǒng)地分析了砂鑄工藝中常見的技術(shù)與質(zhì)量問題,并對其產(chǎn)生問題的原因提出了相應(yīng)的解決方法并加以實現(xiàn)。
本文的研究和
2、分析主要從以下幾個方面進行:
(1)砂鑄的形成與結(jié)構(gòu):首先從金屬沖型與影響因素的關(guān)系,以鑄件的溫度場及金屬凝固的不同方式,合金的收縮及影響因素,展開鑄造工藝的分析。
(2)闡述了砂鑄工藝流程,通過實際工藝步驟和特點,分析了缺陷的成型機理和產(chǎn)生過程。特別針對主要常見的缺陷縮孔和松孔,夾渣等缺陷的形成過程和預(yù)防措施詳細的分析和討論。
(3)進一步詳細地研究半導體設(shè)備底座的砂鑄鑄造工藝,用過程控制統(tǒng)計
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