納米球光刻及熱CVD生長碳納米管的研究.pdf

1、本論文由兩部分構成：納米球光刻和碳納米管熱化學氣相沉積的研究
　　本論文第一部分是基于納米球光刻技術，針對以往納米微孔陣列的制備問題，旨在制備出高度有序、緊密壓縮的納米微球模板。自組裝模板的制備是納米球光刻技術的基礎，同時也是制備出的金屬微柵的質量優(yōu)劣的關鍵。本論文的核心工作即制備出大面積的單層納米微球模板。本文綜合考慮各種自組裝方法的特點，在拉膜法的基礎上進行了改進，利用聚苯乙烯乳膠球制備出了高度有序、緊密排列的周期性的單層模板

2、。本文對影響模板質量的這幾種因素分別進行了分析討論，為制備更高水平的單層聚苯乙烯模板提供了依據(jù)。
　　論文的第二部分主要研究了碳納米管的熱化學氣相沉積法生長條件，從生長機理、制備工藝和測試表征等方面進行各種對比分析和實驗。實驗最終利用乙醇作為碳源熱化學沉積法在800℃生長碳納米管，得到的碳管管形結構優(yōu)秀，形貌分布均勻且具備場發(fā)射能力。眾所周知，一般的熱化學氣相沉積一般使用危險氣體（乙炔、甲烷等），具有一定的安全隱患。而我們則沒有危