溶劑熱合成cBN過程中的關(guān)鍵影響因素研究.pdf

1、立方氮化硼是一種集多種優(yōu)異功能于一身的材料，它的硬度僅次于金剛石，但穩(wěn)定性高于金剛石。立方氮化硼具有高穩(wěn)定性、高熱導(dǎo)率、高硬度以及寬帶隙等優(yōu)異的性能，使得它在高溫大功率半導(dǎo)體器件研制、短波長和紫外光電子器件制備、熱沉材料、切削和磨削材料、耐高溫耐磨防護(hù)涂層、高通透高穩(wěn)定性窗口研制等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。 在實(shí)際生產(chǎn)中，合成立方氮化硼的主要方法包括高溫高壓合成方法和氣相沉積法。 考慮到立方氮化硼晶體具有廣泛的應(yīng)用前景，而

2、現(xiàn)有的制備方法又存在著難于克服的固有缺點(diǎn)，我們首先提出了“溶劑熱選相原位合成”法，并在反應(yīng)原料和溶劑的選擇，實(shí)驗(yàn)條件的優(yōu)化和實(shí)驗(yàn)設(shè)備的改進(jìn)做了相當(dāng)?shù)奶剿??；谝酝慕?jīng)驗(yàn)，本文選擇苯作為溶劑，三氯化硼和氮化鋰作為反應(yīng)原料，反應(yīng)溫度設(shè)定為260℃，以壓強(qiáng)、加料次數(shù)和攪拌速度作為實(shí)驗(yàn)參數(shù)，從三個(gè)方面研究實(shí)驗(yàn)條件對反應(yīng)產(chǎn)物中cBN含量的影響，并得出了一定的規(guī)律，具體如下： 當(dāng)壓強(qiáng)在1MPa到7MPa范圍內(nèi)，樣品的立方氮化硼相對含量隨壓強(qiáng)