低成本MEMS慣性測量組件復合標定與誤差補償方法研究.pdf

1、MEMS慣性測量組件具有體積小、功耗低、成本低和可靠性高等優(yōu)點，在民用和軍用領域都具有廣闊的應用前景。因此，提高MEMS慣性器件的精度是非常必要的。本文利用實驗室現(xiàn)有的實驗設備對實驗室自制的低成本MEMS慣性測量組件進行標定和補償方法研究。
　　首先，對實驗室自制低成本MEMS慣性測量組件進行確定性誤差分析，確定其誤差項，建立其常溫下的系統(tǒng)誤差模型和溫度誤差模型，利用帶溫箱的單軸速率轉(zhuǎn)臺進行十八位置靜態(tài)、六位置動態(tài)和變溫等標定實驗

2、，通過不同的算法解算得到誤差模型中的誤差系數(shù)，最后對補償結(jié)果進行分析。
　　其次，考慮到自制MEMS慣性測量組件的實際用途，利用三軸仿真速率轉(zhuǎn)臺進行復合運動實驗，觀察復合運動對器件的影響。建立陀螺儀的耦合項誤差模型，設計兩種不同的實驗方案進行實驗，通過算法解算最終得到耦合項的系數(shù)，完成了MEMS陀螺儀的復合標定過程。
　　再次，對MEMS慣性器件的輸出數(shù)據(jù)進行了PSD分析和Allan方差分析，表征和辨識了其隨機項誤差，利用時