MEMS慣性器件的數(shù)據(jù)采集與誤差分析技術(shù)研究.pdf

1、MEMS慣性器件具有成本低、體積小、功耗低、抗沖擊能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。是一類(lèi)非常適于構(gòu)建微型捷聯(lián)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的慣性傳感器，隨著器件性能的不斷提高，其應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大。鑒于MEMS慣性器件廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域和精度的不斷提升，對(duì)于MEMS慣性傳感器的研究已經(jīng)成為各國(guó)研究的熱點(diǎn)。論文依托實(shí)驗(yàn)室科研項(xiàng)目對(duì)具體型號(hào)的MEMS慣性器件數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)和誤差分析進(jìn)行研究，為MEMS慣性器件在慣性系統(tǒng)中的進(jìn)一步應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。 分析了MEMS慣性器件的工作原理

2、，MEMS慣性器件主要由MEMS陀螺儀跟MEMS慣性器件加速度計(jì)組成，分別用來(lái)測(cè)量載體的角度跟角加速度信息，通過(guò)坐標(biāo)變換矩陣獲得被測(cè)運(yùn)動(dòng)載體的姿態(tài)信息。主要研究了MEMS陀螺儀和MEMS加速度計(jì)力學(xué)原理，給出了陀螺儀跟加速度計(jì)的誤差模型，分析了影響MEMS慣性器件的主要誤差項(xiàng)。 論文通過(guò)單片機(jī)、PC機(jī)和MEMS慣性器件三者之間的通信實(shí)現(xiàn)慣性器件的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。設(shè)計(jì)了AT89C52單片機(jī)跟慣性器件的通信電路板，在PC機(jī)中應(yīng)用VC+