BCN薄膜的制備和表征.pdf

1、B-C-N相的特殊性質(zhì)引起了人們濃厚的興趣，以高純B4C(99.99％)靶所制備BCN薄膜由于具有優(yōu)異的力學性質(zhì)和耐磨性，可望在某些領域替代類金剛石膜(DLC)。BCN薄膜的制備方法很多，如化學氣相沉積及物理氣相沉積等。 本論文采用了雙離子束濺射沉積技術在Si(100)、NaCl和石英基片上在不同的工作參數(shù)下成功的制備了BCN薄膜，研究了工作參數(shù)對BCN薄膜結(jié)構(gòu)及性質(zhì)的影響。在實驗中，用Ar和高純N2分別作為主源和輔源濺射氣體，

2、用高純B4C(99.99％)靶制備BCN薄膜。 采用了X射線衍射(XRD)、X射線能譜(EDS)、傅立葉變換紅外光譜(FTIR)、拉曼光譜(Raman)、透射電子顯微鏡(TEM)、顯微硬度測試儀、原子力顯微鏡(AFM)，紫外-可見光光度計和納米壓痕等分析手段和方法對薄膜的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)進行了表征。 結(jié)果如下： 一、薄膜的結(jié)構(gòu)是通過XRD和TEM進行分析的，其測試結(jié)果表明薄膜是非晶體。 二、FTIR和Raman