TbDyFe薄膜對三明治膜巨磁阻抗效應(yīng)的影響.pdf

1、巨磁阻抗(GiantMagneto-impedance，GMI)效應(yīng)是當今磁電子學(xué)領(lǐng)域的研究熱點之一，在信息記錄和高靈敏度微型磁傳感器等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。三明治膜中磁性層各向異性場的大小和方向?qū)ζ銰MI效應(yīng)起著關(guān)鍵作用。各向異性場很小時，GMI比不出現(xiàn)峰值，曲線單調(diào)下降；而各向異性場很大時，曲線十分平坦，沒有GMI效應(yīng)。 本文研究了具有磁致伸縮性能的TbDyFe薄膜對磁性層的各向異性場以及三明治膜GMI效應(yīng)的影響。

2、 首先，用真空蒸鍍法在Si片上制備了不同厚度的TbDyFe薄膜，然后將其真空退火，退火溫度為600℃。通過X射線衍射分析以及磁性分析比較制備態(tài)與退火態(tài)的結(jié)構(gòu)和性能，發(fā)現(xiàn)600nm的退火態(tài)樣品具有較好的晶格結(jié)構(gòu)，形成了明顯的RFe2Laves相，有較強的磁致伸縮性能；并且在很低的磁場下，樣品就具有較大的磁致伸縮性能，產(chǎn)生較大的張應(yīng)力。 其次，在TbDyFe薄膜上蒸鍍一定厚度的超坡莫合金，分析兩層膜界面擴散情況。通過AES對制備態(tài)和