2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文碰撞對非對稱射頻等離子體鞘層物理特性的影響姓名：蘆巖申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：等離子體物理指導(dǎo)教師：王友年20040301AbstractLowpressureplasmashavebeenwidelyusedforprocessesinthemicroelectronicsindustry，suchasplasmaetchingandfilmdepositionItiswellknownthatsurfacere

2、actionsandetchingratesarestronglyaffectedbytheenergyandangledistributionsofionsincidentonthesubstratesurfacesGenerally，itisoftenrequiredtosetindependentlyaradio—frequency(rf)biasvoltageonasubstrateinaplasmaprocesssothata

3、rfsheathwiiibeformednearthesubstratesurfaceFormostreactiverfplasmaetchingprocessing，plasmasheathsneartwoelectrodesareasymmetricduetothepoweredelectrodeareabeingsmallerthanthegroundedelectrodeareaTakingaccountintocollisio

4、naleffectsofionswithneutralsinthesheaths，aselfconsistentdynamicmodelisproposedheretodescribecharacteristicsofradio—frequencysheathsNumericalresultsshowthecollisionaleffectsonsomephysicsquantities，suchasinstantaneousvolta

5、gesontheelectrodesinstancaneousthicknessesoftheelectronsheathes，spatialdistributionsoftheiondensityandtheelectricfieldinthesheathsandinstantaneousvoltagedifferencebetweentwoelectrodesIthasbeenshownformnumericalresultstha

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