感應耦合等離子體源線圈配置對等離子體特性的影響.pdf

1、感應耦合等離子體技術以其結構簡單、低氣壓下產(chǎn)生高密度等離子體的能力及其良好的可擴展性得到了廣泛的應用。本文從優(yōu)化設計的角度出發(fā)，研究了線圈配置對等離子體特性的影響。 建立了變壓器模型，模型中將等離子體看成是一變壓器的次級線圈。模型的分析和計算結果表明，增加感應耦合等離子體源線圈的Q值有利于改善功率耦合效率。 改變線圈的配置，從實驗角度研究了線圈配置對等離子體特性的影響。實驗結果表明，單匝線圈由于電感量太低不足以使線圈兩端

2、產(chǎn)生點火所需的高壓，因此使用單匝線圈不能放電；同一線圈鍍銀之后，線圈的電阻下降，Q值增加，從而耦合效率改善；對于不同線圈之間耦合效率的比較需要將電阻的因素考慮進去。功率增加，耦合效率增加且呈飽和趨勢，與計算結果符合較好。H放電模式下，氣壓增加，耦合效率；E放電模式下，耦合效率隨氣壓沒有明顯的變化，間接證明了感應耦合等離子體放電從E模式到H模式的轉變。2匝和3匝線圈在相同的放電條件(200w、Ar流量50sccm)下對應的等離子體密度是單