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文檔簡介
1、感應耦合等離子體技術以其結構簡單、低氣壓下產(chǎn)生高密度等離子體的能力及其良好的可擴展性得到了廣泛的應用。本文從優(yōu)化設計的角度出發(fā),研究了線圈配置對等離子體特性的影響。 建立了變壓器模型,模型中將等離子體看成是一變壓器的次級線圈。模型的分析和計算結果表明,增加感應耦合等離子體源線圈的Q值有利于改善功率耦合效率。 改變線圈的配置,從實驗角度研究了線圈配置對等離子體特性的影響。實驗結果表明,單匝線圈由于電感量太低不足以使線圈兩端
2、產(chǎn)生點火所需的高壓,因此使用單匝線圈不能放電;同一線圈鍍銀之后,線圈的電阻下降,Q值增加,從而耦合效率改善;對于不同線圈之間耦合效率的比較需要將電阻的因素考慮進去。功率增加,耦合效率增加且呈飽和趨勢,與計算結果符合較好。H放電模式下,氣壓增加,耦合效率;E放電模式下,耦合效率隨氣壓沒有明顯的變化,間接證明了感應耦合等離子體放電從E模式到H模式的轉變。2匝和3匝線圈在相同的放電條件(200w、Ar流量50sccm)下對應的等離子體密度是單
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