抗鹽霧寬帶增透膜的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、分類號：0484UDC：535密級：亙公五編號：抗鹽霧寬帶增透膜的研制StudyandFabricationofAnti—SaltSprayBroadbandAntireflectiveFilm學(xué)位授予單位代碼：量查堡王太堂(!Q!墨魚2學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：堂堂(QZQ2QZ2研究方向：光筐!曼佳撿量處理堇盔申請學(xué)位級別：亟指導(dǎo)教師：塑I迨篷塾援研究生：塑蝰論文起止時(shí)間：四1209201312摘要為了滿足光學(xué)儀器在雨天、海洋等環(huán)境下的使

2、用，研制了具有抗鹽霧特性的420“～820nnl波段寬帶增透膜。根據(jù)抗鹽霧寬帶增透膜的技術(shù)要求，選用Ta205、Si02和A1203三種光學(xué)薄膜材料，結(jié)合雙有效界面法原理，使用膜系設(shè)計(jì)軟件設(shè)計(jì)并優(yōu)化膜系。通過實(shí)驗(yàn)分析了膜厚誤差產(chǎn)生的原因，借助膜系設(shè)計(jì)軟件對測試結(jié)果進(jìn)行模擬優(yōu)化并補(bǔ)償，通過在制備過程中改變每種材料的修正系數(shù)，并對工藝參數(shù)進(jìn)行反復(fù)優(yōu)化調(diào)整，解決了厚度誤差對光譜特性的影響，最終制備的具有抗鹽霧功能的寬帶增透膜，在420～820

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