2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、法布里-珀羅(Fabry–Pérot,F(xiàn)-P)腔是光通信領域的重要組成光學元件,具有重要的研究價值。為了滿足更高的通信需求,科學家在F-P腔的基礎上提出了可調(diào)諧F-P腔。F-P腔的調(diào)諧功能不僅可以補償制作工藝中出現(xiàn)的誤差,還可以用作波長選擇開關。實現(xiàn)F-P腔的調(diào)諧功能有角度調(diào)諧,腔長調(diào)諧和折射率調(diào)諧三種方式。其中,電光調(diào)諧具有驅(qū)動控制簡單,響應速度快,易于集成的優(yōu)點。為了實現(xiàn)電光調(diào)諧,F(xiàn)-P腔需要使用具有較大電光系數(shù)的電光材料制作。而具

2、有較大電光系數(shù)的無機晶體鈮酸鋰(LiNbO3,LN)便成為最佳選擇,并且LN晶體的波導制作工藝比較成熟,拋光后的波導端面比較平整,通過在兩端鍍一定反射系數(shù)的介質(zhì)薄膜,可以形成質(zhì)量較好的F-P腔。為此,本論文對電光調(diào)諧LN光波導F-P腔進行了研究。論文的主要內(nèi)容包括:
  首先,論文對電光調(diào)諧LN光波導F-P腔的基本結(jié)構(gòu)以及器件的工作原理,輸出特性和調(diào)諧特性進行了分析。然后分析設計了LN光波導的單模傳輸條件,即波導擴散深度和擴散寬度

3、。接下來對介質(zhì)薄膜的反射系數(shù)進行分析設計,確保制作的F-P腔的可以產(chǎn)生質(zhì)量較好輸出譜。之后根據(jù)LN晶體切向和波導尺寸,分析設計器件的電極尺寸,以實現(xiàn)F-P腔的電光調(diào)諧功能。
  然后,根據(jù)器件的整體結(jié)構(gòu)的分析設計,確定器件的全部參數(shù)。接著設計制作對應的光刻掩模版,利用退火質(zhì)子交換工藝制作LN單模直波導,超聲剝離法制作調(diào)諧電極。之后,通過在LN波導兩端鍍介質(zhì)薄膜(反射系數(shù)為80%-85%)形成F-P腔。最后,對制作成功的電光調(diào)諧LN

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