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文檔簡介
1、鈦擴散鈮酸鋰(Ti∶LiNbO3)光波導是所有基于鈮酸鋰制作的波導器件的核心元件。而近化學計量比Ti∶Mg∶LiNbO3波導比同成分Ti∶LiNbO3波導有更多的優(yōu)點，如它具有較低的非尋常折射率，更強的電光效應。近化學計量比Ti∶Mg∶LiNbO3波導未來將會在無源和有源器件的開發(fā)中體現(xiàn)出新的應用。為了實現(xiàn)這一目標，我們應首先著力于研究制備近化學計量比Ti∶LiNbO3波導的方法。原則上，有3種可能的方法可以用來制備近化學計量比Ti∶L
2、iNbO3波導。第一種方法是在近化學計量比LiNbO3晶體上鍍Ti條，但是Ti在LiNbO3晶體中的擴散系數(shù)很低。第二種方法是Ti擴散與氣相輸運平衡(VTE)處理同時進行。第三種方法是先進行Ti擴散再進行VTE處理。前兩種方法所需要的Ti擴散時間都相對較長，因此本文中使用了第三種方法制備近化學計量比Ti∶LiNbO3波導。
本文完成的工作包括以下內(nèi)容，利用標準的Ti擴散和VTE后處理方法制備出近化學計量比Ti∶LiNbO3
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