知識驅(qū)動下集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法研究.pdf

1、在當(dāng)今以信息和知識為主導(dǎo)的“知識經(jīng)濟(jì)”時(shí)代中，知識的繼承、集成、管理乃至創(chuàng)新是各領(lǐng)域迫切需要解決的問題。知識驅(qū)動下的產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)，已受到越來越多的關(guān)注。集成電路工藝開發(fā)過程中具有工藝路線長、工藝過程高度復(fù)雜以及工藝設(shè)計(jì)與環(huán)境經(jīng)驗(yàn)相關(guān)的特點(diǎn)。現(xiàn)有的集成電路工藝設(shè)計(jì)存在著知識總結(jié)難、問題求解難、知識重用難等尚未解決的難題，因此開發(fā)智能化的集成電路設(shè)計(jì)平臺成為當(dāng)前集成電路工藝設(shè)計(jì)的迫切要求。隨著集成電路設(shè)計(jì)行業(yè)的迅速發(fā)展，如何開發(fā)集成電路工藝

2、設(shè)計(jì)的智能化系統(tǒng)、提高對制造周期的快速反應(yīng)能力、提高集成電路設(shè)計(jì)效率和設(shè)計(jì)過程的自動化水平成為制約集成電路工藝設(shè)計(jì)需要迫切解決的問題。本文從人工智能算法在集成電路工藝設(shè)計(jì)上的應(yīng)用角度出發(fā)，將知識工程技術(shù)引入集成電路工藝設(shè)計(jì)過程中，以集成電路光刻工藝設(shè)計(jì)為例進(jìn)行了系統(tǒng)地討論和研究，提出了知識驅(qū)動下的集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法。基于此提出了集成電路光刻工藝知識模型及構(gòu)建方法，搭建了集成電路光刻工藝實(shí)例庫及實(shí)例知識沖突消解方法，提出了時(shí)序型

3、集成電路光刻工藝智能匹配算法和集成電路光刻工藝方案設(shè)計(jì)和評價(jià)方法，實(shí)現(xiàn)了知識驅(qū)動下集成電路光刻工藝流程智能設(shè)計(jì)。
　　本論文通過研究集成電路光刻工藝知識的特點(diǎn)，采用知識工程相關(guān)技術(shù)和方法，提出了知識驅(qū)動下的集成電路光刻工藝智能設(shè)計(jì)方法以實(shí)現(xiàn)已有工藝實(shí)例對集成電路光刻工藝設(shè)計(jì)活動的智能支持。本論文主要的研究內(nèi)容如下：
　　1.提出了集成電路光刻工藝實(shí)例知識建模和知識獲取方法
　　對集成電路光刻工藝實(shí)例知識進(jìn)行系統(tǒng)研究，將

4、光刻工藝設(shè)計(jì)知識進(jìn)行分類并采用結(jié)構(gòu)化的面向?qū)ο蟮闹R表示方法對光刻工藝實(shí)例知識進(jìn)行一致性表示。集成電路光刻工藝實(shí)例知識獲取為設(shè)計(jì)端和生產(chǎn)制造端兩個(gè)過程，設(shè)計(jì)端通過采集已有的設(shè)計(jì)實(shí)例進(jìn)行，生產(chǎn)制造端通過光刻工藝相關(guān)設(shè)備信息采集來實(shí)現(xiàn)，最終完成設(shè)計(jì)端和生產(chǎn)制造端的閉環(huán)，為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)光刻工藝智能設(shè)計(jì)過程奠定基礎(chǔ)。
　　2.提出了面向光刻工藝實(shí)例知識庫中多源異構(gòu)實(shí)例知識的沖突消解方法
　　為了解決光刻工藝實(shí)例知識庫中多源異構(gòu)實(shí)例知識

5、的語義融合問題，構(gòu)建了多源異構(gòu)知識融合方法和框架。按照工藝實(shí)例知識構(gòu)成要素將沖突劃分為術(shù)語沖突、謂詞沖突、數(shù)量短語沖突和關(guān)系沖突，并提出了沖突消解的邏輯樹融合法、頻率融合法、特選融合法、約束融合法和關(guān)系融合法。
　　3.提出了時(shí)序型集成電路光刻工藝智能匹配算法和集成電路光刻工藝方案智能設(shè)計(jì)方法
　　針對集成電路光刻工藝各工步在加工過程順序相關(guān)并存在相互制約的問題的特點(diǎn)，通過對光刻工藝各階段的相關(guān)性和協(xié)同性進(jìn)行系統(tǒng)研究，提出了

6、時(shí)序型集成電路光刻工藝智能匹配算法，將一組集成電路光刻工藝實(shí)例中具有相似關(guān)系的實(shí)例歸為一類，實(shí)現(xiàn)了具有相似關(guān)系的集成電路實(shí)例的聚類，為設(shè)計(jì)過程提供參考方案。在光刻工藝實(shí)例知識聚類分析的基礎(chǔ)上，以獲取的光刻工藝實(shí)例知識為基礎(chǔ)，以設(shè)計(jì)需求為導(dǎo)向，以基于人工智能算法的設(shè)計(jì)綜合方法為工具，實(shí)現(xiàn)了光刻工藝方案的智能設(shè)計(jì)并對其進(jìn)行模糊評價(jià)，獲得合理的滿足新設(shè)計(jì)需求的光刻工藝方案進(jìn)行輸出。
　　4.系統(tǒng)開發(fā)及實(shí)例分析。開發(fā)了集成電路光刻工藝實(shí)例