650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉濾光片

1、長春理工大學(xué)碩士學(xué)位論文650nm反射10.6μm透射的薄膜干涉濾光片姓名：邢政申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：光學(xué)指導(dǎo)教師：付秀華20080401A B S T R A C TW i t h t h e d e v e l o p m e n t o f a t m o s p h e r i co p t i c a l c o m m u n i c a t i o n ，r e q u i r e m e n t f o r h i g

2、 hp e r f o r m a n c e o p t i c a l e l e m e n t si si n c r e a s i n g ．T h e t e c h n i q u eo ft h i nf i l mh a sp l a y e d 卸i m p o r t a n tr o t ei nt h e i m p r o v e m e n t o f s y s t e m p e r f o r m

3、a n c e ．T h i sp a p e r i n t r o d u c e st h ep r e p a r a t i o n p r o c e s so ft h ec o a t i n g sr e f l e c t a n c ea t 6 5 0 n m a n dt r a n s m i t t i n gi n 1 o ．缸m ．B ya n a l y z i n gt h eo p t i c a

4、 la n d # y s i c a lc h a r a c t e ro f t h e m a t e r i a l s ，t h es u b s t r a t e so f m u l t i ·s p e c t r u m z i n c s u l f i d e ，Z n Sa n d Y b F 3 w e r e u s e d ．T h ec o a t i n g s w e r ed e s

5、i g n e da n d o p t i m i z e db ys o f t w a r e ，a n dp r e p a r e db yT X X 7 0 0 v a c u u m c o a t i n gm a c h i n e w i t he l e c t r o nb e a ma n d i o na s s i s t e dd e p o s i t i o ns y s t e m ．T h em

6、e t h o d s f o ri m p r o v i n g t h ea d h e s i o no fl a y e r sw a s s t u d i e db y a s e r i e so f e x p e r i m e n t s ．F i n a l l yw e g a v et h em e a s u r e m e n t r e s u l t s ．K e y w o r d s ：o p t