版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、1知識點1–成膜(第一份)1.Sputter設備生產(chǎn)FFS產(chǎn)品時,Glass表面溫度約為多少攝氏度(230)2.B3CFSheetID:CBM3X9803EFHG123400,各位號碼意思()3.在B3CF分廠,下列選項中全部都有6軸(RobotRWLICLANLITO4個)4.各Line與設備之間的通訊協(xié)議是以下哪一項()5.CSA、CSB、CSC及CSD中Crane數(shù)量分別為(121.1)6.下列靶材與Sputter背板直接接觸的物
2、質(zhì)是(氧化銦錫)7.B3CFITOLine共有多少個六軸Robot(4)8.正確的防塵服穿著順序是()9.CF制作過程中32寸產(chǎn)品與18.5寸產(chǎn)品主要不同點(TN與FFS模式不同點)10.屬于PM時正確做法的是()12Unpack裝Glass的是Crate,一般每個Crate裝0.7t的Glass的片數(shù)是(300)13.Sputter設備的腔體有Heater的腔體是(M3.1、M4.1、M5.1、M6.1、M7.1、M7.2、M6.2、
3、M5.2)15.B3CFSputter設備每個Carrier上Clamp的數(shù)量為(18)16.B3CFSputter使用的Carrier上部從玻璃邊緣到第一個Clamp的距離為(26mm)17.TFTLCD顯示器的顯示性能指標包括(分辨率,色度,響應速度對比度等)18.Carrier到達SputterProcessChamber時Carrier與Carrier之間的間隔為(重疊)19.量產(chǎn)時,SputterProcessChamber內(nèi)
4、通入的氣體為(氬氣和氧氣)20.在生產(chǎn)的過程中,設備重啟PLC后,哪個部分不需回到原(HOME)點(Magazine)342.TN模式ITO阻抗spec為(93%最大:無,最小:>90%,平均:>92%)45.TN模式玻璃鍍膜表面溫度(120)46.TN模式ITO膜要經(jīng)過Anneal的PBK工序是為了(使ITO結(jié)晶更完全)47.TN型產(chǎn)品經(jīng)過Anneal的后的ITO薄膜阻抗值(93%)49.Sputter正常生產(chǎn)使用Carrier的數(shù)量
5、為(11)50.Sputter中起輝氣體是(Ar)51.Sputter設備共使用靶材的數(shù)量為(7)52.Sputter使用的陶瓷靶,其成分In2O3與SnO2的比例為(9:1)53.ITO特性值管控項目管控不包括(管控透過率,阻抗,膜厚)54.影響ITO膜厚的因素有(Power)56.提高成膜溫度對ITO薄膜的影響(結(jié)晶更完全)57.設定Carrier定期更換的主要作用是(防止OutGas引起的阻抗超標)58.carrier更換后要進行
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 機械原理知識點復習資料
- 中藥化學復習資料知識點、重點
- 藝術概論復習資料知識點歸納
- c語言全部知識點復習資料
- 藝術概論復習資料知識點歸納
- 小學語文畢業(yè)總復習資料(知識點)
- 環(huán)境法復習資料知識點總結(jié)
- 量子力學主要知識點復習資料
- 高考理綜知識點總結(jié)復習資料
- 護理基礎知識點歸納復習資料
- 政治學導論復習資料知識點
- 物流學基礎知識點復習資料
- c 語言最重要的知識點復習資料
- 作物栽培學主要知識點復習資料
- 高考生物基礎知識點復習資料
- 地理考前必看重要知識點復習資料
- 高中復習資料:化學必修一知識點口訣
- 2016結(jié)構設計原理復習資料知識點
- 2018新課標高考政治復習資料知識點+講解
- 本科金融學復習資料知識點復習考點歸納總結(jié)(已整理)知識點復習考點歸納總結(jié)
評論
0/150
提交評論