iso14644_中文版

1、11前言前言ISO為全球各國標準化團體（ISO會員團體）的聯(lián)合會。其國際標準工作一般是由ISO各技術(shù)委員會執(zhí)行。每個會員團體若對技術(shù)委員會的某一課題感興趣，均有權(quán)作為此技術(shù)委員會的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國際組織，無論是政府的還是非政府的組織，同樣可參加此項工作。ISO與國際電氣技術(shù)委員會（IEC）在電氣技術(shù)標準化方面進行緊密合作。國際標準草案由其技術(shù)委員會認可后送各會員團體進行傳閱，以待表決。草案作為國際標準頒布至少需要75%的會

2、員團體投贊成票。國際標準ISO146441由ISOTC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會提出。ISO14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的總標題下，由下述各部分組成：第1部分：空氣潔凈度等級劃分第2部分：為認證與ISO146441連續(xù)的相符性的測試和監(jiān)測技術(shù)要求第3部分：計量和測試方法第4部分：設(shè)計、施工和啟動第5部分：運行第6部分：術(shù)語和定義第7部分：增強的潔凈裝置用戶應(yīng)注意，第2至第7部分的標題為第1部分發(fā)行時的工作標題。如果從工作計

3、劃中刪除了一部分或幾部分，剩余部分可以重新編寫。附錄B和C為ISO14644的組成部分，附錄A、D、E和F僅作資料用。引言引言潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級別，以確保完成對污染敏感的有關(guān)活動。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制：航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品。ISO14644的本部分指定ISO分級的各級別，以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒

4、子測試的程序，而且確定了測試的標準方法。為劃分等級，ISO14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。本部分還提供了標準協(xié)議，以依據(jù)大于或小于指定分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識。ISO14644的本部分為潔凈室和污染控制系列標準中的一個標準。除懸浮粒子潔凈度之外，還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計、技術(shù)要求、運行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在ISOTC209技術(shù)委員會制定的其它國際標準中有詳細論述。在某些情況

5、下，有關(guān)管理機構(gòu)可能會規(guī)定動作一些補充的政策或限制。這就可能要求對標準的測試程序作適當?shù)男薷摹?32.2.2粒徑粒徑由給定的粒徑測定儀響應(yīng)出（與被測粒子作出的響應(yīng)當量）的球體的直徑。注離散粒子計數(shù)和光散射儀器使用當量光學(xué)直徑。2.2.3粒子濃度粒子濃度單位體積空氣中的單個粒子數(shù)。2.2.4粒徑分布粒徑分布作為粒徑函數(shù)的粒子濃度之累積分布。2.2.5超微粒子超微粒子當量直徑小于0.1μm的粒子。2.2.6大粒子大粒子當量直徑大于0.5μm

6、的粒子2.2.7纖維纖維長寬比等于或大于10的粒子。2.3描述符2.3.1U描述符描述符測得或規(guī)定的粒子濃度，即含超微粒子的濃度以pcm3空氣計，注U描述符可認為是采樣點平均值的上限（或置信上限，取決于用于確定潔凈室或潔凈區(qū)特性的采樣點數(shù)目）不能用U描述符來定義且懸浮粒子潔凈度等級，但可以單獨引用或與懸浮粒子潔凈度等級一起引用。2.3.2M描述符描述符測得或規(guī)定的每m3空氣中大粒子的濃度，以作為所用測試方法特性的當量直徑來表示。注M描述