內(nèi)層開短路改進工作總結(jié)

1、降低內(nèi)層開短路缺陷工作總結(jié)降低內(nèi)層開短路缺陷工作總結(jié)降低內(nèi)層開短路改進小組一、概述4月中旬內(nèi)層AOI一次送檢不合格率持續(xù)偏高，最高達到9.86%，影響了生產(chǎn)進度及成品率。因此工程部將“內(nèi)層AOI一次送檢不格率降至5%”列入工藝組改進項目之一，由林綿鋒先生、張鎮(zhèn)祥先生、周曉煌先生、蔡錦雄先生和林挺先生組成降低內(nèi)層開短路改進小組，目的是尋找缺陷產(chǎn)生的原因，以便提出針對性改進措施，提高成品率。二、改進方法?檢查貼膜后板面質(zhì)量情況，在缺陷點板邊

2、作標記。?檢查曝光后板面質(zhì)量情況，在缺陷點MALAR膜上作標記。?蝕刻、AOI檢查后，將板面缺陷對照MALAR膜上所作的標記進行分析缺陷產(chǎn)生的原因。?采取針對性改進措施。三、內(nèi)層開短路原因內(nèi)層開內(nèi)層開短路短路材料材料環(huán)境環(huán)境1板面樹脂點2板面凹陷、劃傷3板面銅瘤4CCL磨板板面擦傷干膜房潔凈度度法設(shè)備設(shè)備操作操作1前處理效果差2貼膜溫度低3干膜被壓傷4曝光雜物多5顯影液濃度高6顯影液添加量不足7點檢不完善1除塵效果差3壓輥擦傷4傳送輥老

3、化5曝光能量不均勻6曝光機真空度不足7顯影段入口視線差2貼膜溫度變化大8蝕刻循環(huán)量小9ACS搖擺效果差差1磨板貼膜速度快2壓輥清潔不凈3菲林曝光框清潔不凈4放板超出范圍5參數(shù)超出范圍6沖板不規(guī)范?降低碳酸鈉開缸量：原有顯影液開缸量偏高，顯影液濃度較高，容易導(dǎo)致顯影過度。經(jīng)過驗證，將碳酸鈉開缸量從原來的9公斤降低為6公斤。?增加碳酸鈉補充添加量：原碳酸鈉補充添加量為每生產(chǎn)40塊板件添加20秒，經(jīng)計算，該添加量下顯影液能力接近滿負荷，因此將

4、添加量修改為每生產(chǎn)20塊板件添加20秒，提高顯影能力。?采取顯影槽保養(yǎng)時關(guān)掉溢流裝置，顯影槽、蝕刻槽保養(yǎng)后必須用高壓水沖洗槽壁等措施，完善保養(yǎng)規(guī)程，提高保養(yǎng)質(zhì)量。?蝕刻過濾芯更改為碳芯，有效吸咐蝕刻液中的有機雜物，減少銅點。?繼續(xù)完善現(xiàn)場點檢記錄，提高了點檢的針對性、有效性，效果顯著。4設(shè)備?保養(yǎng)時將除塵膠棍送返磨，提高除塵效果；更換HAKUTA貼膜前已老化的傳送膠輪；更換HAKUTA高效過濾箱的磨刷。?HAKUTA貼膜機加熱棒涂導(dǎo)熱膠

5、，提高加熱均勻性。?修補HAKUTA熱壓輥表面凹陷后貼膜仍有小氣泡，已更換熱壓輥。?每周兩次用能量計校正曝光機能量，保證曝光能量穩(wěn)定，減少曝光不良。?更換真空接口，提高AX28自動曝光機的真空度（小于10inHg），減少曝光不良。?改進顯影段入口的蓋板裝置，減少疊板。?更換ACS線蝕刻機過濾系統(tǒng)，加大蝕刻液的循環(huán)量，提高蝕刻質(zhì)量。?更換ACS酸蝕線傳送桿鎖緊螺絲，減少傳送故障。5操作?增加崗位操作可視化，規(guī)范各崗位操作。?搜集相關(guān)缺陷圖