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1、西門子改良法生產(chǎn)工藝如下:西門子改良法生產(chǎn)工藝如下:這種方法的優(yōu)點是節(jié)能降耗顯著、成本低、質(zhì)量好、采用綜合利用技術(shù),對環(huán)境不產(chǎn)生污染,具有明顯的競爭優(yōu)勢。改良西門子工藝法生產(chǎn)多晶硅所用設(shè)備主要有:氯化氫合成爐,三氯氫硅沸騰床加壓合成爐,三氯氫硅水解凝膠處理系統(tǒng),三氯氫硅粗餾、精餾塔提純系統(tǒng),硅芯爐,節(jié)電還原爐,磷檢爐,硅棒切斷機(jī),腐蝕、清洗、干燥、包裝系統(tǒng)裝置,還原尾氣干法回收裝置;其他包括分析、檢測儀器,控制儀表,熱能轉(zhuǎn)換站,壓縮空氣
2、站,循環(huán)水站,變配電站,凈化廠房等。(1)石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業(yè)硅,其化學(xué)反應(yīng)SiO2C→SiCO2↑(2)為了滿足高純度的需要,必須進(jìn)一步提純。把工業(yè)硅粉碎并用無水氯化氫(HCl)與之反應(yīng)在一個流化床反應(yīng)器中,生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。其化學(xué)反應(yīng)SiHCl→SiHCl3H2↑反應(yīng)溫度為300度,該反應(yīng)是放熱的。同時形成氣態(tài)混合物(Н2НС1SiНС13SiC14Si)。(3)第二步驟中產(chǎn)生的氣態(tài)混合物還
3、需要進(jìn)一步提純,需要分解:過濾硅粉,冷凝SiНС13SiC14,而氣態(tài)Н2НС1返回到反應(yīng)中或排放到大氣中。然后分解冷凝物SiНС13SiC14,凈化三氯氫硅(多級精餾)。(4)凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝,以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。其化學(xué)反應(yīng)SiHCl3H2→SiHCl。多晶硅的反應(yīng)容器為密封的,用電加熱硅池硅棒(直徑510毫米,長度1.52米,數(shù)量80根),在10501100度在棒上生長多晶硅,直徑可
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