基于數(shù)字全息顯微術(shù)的三維表面形貌測量技術(shù)研究.pdf

1、隨著機(jī)械工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)和生物技術(shù)的發(fā)展,超精密加工、納米技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)、活體細(xì)胞工程等都對微納尺度的三維表面形貌測量提出了更高的要求,需要具有實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)觀測特性、高分辨率及大量程的三維表面形貌精密測量儀器。
　　數(shù)字全息術(shù)是一種基于光波衍射和干涉原理的成像與測量技術(shù),它可以同時(shí)獲取物光波的振幅和相位信息,得出被測物的三維形貌,同時(shí)具有非接觸、實(shí)時(shí)、大景深、高分辨率和相襯成像的優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于微納表面測量、微機(jī)電結(jié)構(gòu)特性分析、微

2、粒檢測、細(xì)胞生物學(xué)等方面。
　　本文圍繞數(shù)字全息顯微三維表面形貌精密測量技術(shù)展開研究,主要工作有:
　　分析了數(shù)字全息記錄與重建過程的物理光學(xué)原理,進(jìn)行了數(shù)字全息的數(shù)學(xué)建模。
　　基于建立的數(shù)學(xué)模型,對同軸數(shù)字全息術(shù)和離軸數(shù)字全息術(shù)的記錄與再現(xiàn)過程進(jìn)行了軟件仿真。
　　根據(jù)采樣定理和頻譜分離要求,分別推導(dǎo)了離軸數(shù)字全息記錄光路的各種參數(shù)設(shè)定條件。
　　開展了離軸數(shù)字全息記錄光路的測試實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了離軸數(shù)字全息