面向IC封裝的高速精密定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、本文結(jié)合面向IC封裝的高速精密定位系統(tǒng)的開發(fā)，對所研發(fā)的兩自由度高速精密定位平臺的動(dòng)態(tài)性能進(jìn)行了詳盡的試驗(yàn)分析，并對音圈電機(jī)直驅(qū)的高速精密定位平臺的動(dòng)力學(xué)控制算法及氣浮技術(shù)等進(jìn)行深入研究，全文工作和取得的成果如下： 利用激光干涉儀對定位平臺各軸的靜、動(dòng)態(tài)性能進(jìn)行試驗(yàn)研究。通過對定位平臺的階躍響應(yīng)、方波響應(yīng)(循環(huán)運(yùn)動(dòng))及連續(xù)輸入的響應(yīng)等不同工況的分析，結(jié)論表明系統(tǒng)的靜態(tài)性能良好，而動(dòng)態(tài)性能不能滿足預(yù)期要求。此外，精密定位平臺的摩擦

2、阻尼、慣量、剛度等動(dòng)力學(xué)參數(shù)的時(shí)變性，導(dǎo)致系統(tǒng)加速度波動(dòng)較大。 針對定位平臺動(dòng)態(tài)性能較差，基于音圈電機(jī)和X向定位平臺的機(jī)電耦合動(dòng)力學(xué)模型，設(shè)計(jì)了一種魯棒性強(qiáng)易于實(shí)現(xiàn)的控制器。理論分析和系統(tǒng)仿真均表明該控制器能較好地改善此類平臺的動(dòng)態(tài)特性，具有調(diào)節(jié)時(shí)間短、無超調(diào)和動(dòng)態(tài)響應(yīng)準(zhǔn)確快速等優(yōu)點(diǎn)，并能夠有效地提高系統(tǒng)的抗干擾能力。 完成了Z軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的搭建和調(diào)試，并針對高速力/位混和控制方法和視覺系統(tǒng)標(biāo)定策略等關(guān)鍵技術(shù)，提出部分