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文檔簡介
1、隨著現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，汽車、工業(yè)自動化、導彈等領(lǐng)域?qū)铀俣葌鞲衅魈岢隽思苫⑽⑿突?、高性能等要求，開發(fā)各種新原理、新結(jié)構(gòu)、新功能的微型加速度傳感器已成為世界各國的研究熱點。真空微電子加速度傳感器是一種新型加速度傳感器，具有靈敏度高、體積小、抗輻射、低電壓等優(yōu)點，在航空航天、導彈和汽車等領(lǐng)域都有巨大的應(yīng)用前景。信號處理電路是決定該類傳感器性能的一個關(guān)鍵因素，本文的目標就是設(shè)計力平衡式真空微電子加速度傳感器的信號處理電路。 本文
2、提出的力平衡式真空微電子加速度傳感器的信號處理電路由電流檢測閉環(huán)控制電路和以89C51單片機為核心的數(shù)據(jù)采集和顯示電路兩個部分組成，其中電流檢測閉環(huán)控制電路包括I/V轉(zhuǎn)換電路、二級放大電路、濾波電路和反饋電路，數(shù)據(jù)采集和顯示電路包括電平轉(zhuǎn)移電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、單片機數(shù)據(jù)處理電路和LED數(shù)碼管顯示電路。本文的主要工作如下： 1、對力平衡式真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理和理論進行分析。 2、設(shè)計了真空微電子加速度傳感
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