真空微電子加速度傳感器相關(guān)理論與實驗研究.pdf

1、基于MEMS技術(shù)的真空微電子加速度傳感器是高精度MEMS加速度傳感器的新探索，該加速度傳感器具有體積小、靈敏度高、抗輻射、可批量生產(chǎn)等諸多優(yōu)點，在交通、航空、航天、精確制導武器等領(lǐng)域都有廣闊的應用前景。開展新型MEMS真空微電子加速度傳感器相關(guān)基礎(chǔ)理論的探索研究，具有重要的理論意義與應用背景。
　　 本文在分析力平衡式真空微電子加速度傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理基礎(chǔ)上，研究了靜電力對其剛度和固有頻率等特性的影響，建立了力平衡式真空微電

2、子加速度傳感器的閉環(huán)理論模型，從理論上分析了電路參數(shù)和偏置電壓等對傳感器性能的影響，并進行了相關(guān)實驗驗證。論文的主要工作如下：
　　 ①利用IntelliSuite軟件建立力平衡式真空微電子加速度傳感器慣性敏感元件的有限元模型，通過靜力分析與模態(tài)分析，獲得了傳感器的機械剛度、固有頻率等參數(shù)。
　　 ②分析了反饋電極之間的靜電力和陰極錐尖陣列與陽極之間的靜電力對傳感器系統(tǒng)總剛度的影響，建立了力平衡式真空微電子加速度傳感器的