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文檔簡介
1、在精密儀器加工行業(yè)中導(dǎo)軌滾轉(zhuǎn)角誤差是影響加工工件質(zhì)量的重要因素之一,而滾轉(zhuǎn)角誤差測量是所有誤差分量中最難實(shí)現(xiàn)的。目前已有的滾轉(zhuǎn)角測量方法或者測量精度低,或者結(jié)構(gòu)復(fù)雜、獨(dú)立,不易與其它自由度測量相集成為多自由度誤差測量系統(tǒng)。 本論文研究了一種利用特殊光學(xué)元件特性的滾轉(zhuǎn)角誤差測量方法。系統(tǒng)采用帶有溫控的半導(dǎo)體激光器單模光纖組件作為光源,有效地降低了激光器本身的光線漂移,為滾轉(zhuǎn)角誤差測量提供了高精度和高穩(wěn)定性的基準(zhǔn)光線。采用特殊加工的
2、棱鏡作為敏感單元,通過此棱鏡出射光線直線度測量,間接實(shí)現(xiàn)滾轉(zhuǎn)角誤差測量。系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)時性強(qiáng),測量頭沒有電纜連接,能滿足長距離移動測量的要求。更為重要的是,此測量方法可以較容易地實(shí)現(xiàn)與其它自由度誤差測量相集成,構(gòu)成多自由度同時測量系統(tǒng)。 本論文完成了系統(tǒng)光路、電路設(shè)計和軟件編寫,實(shí)現(xiàn)了五自由度誤差測量系統(tǒng)的集成,并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和誤差分析。結(jié)果表明,系統(tǒng)具有很好的重復(fù)性和穩(wěn)定性。通過與電子水平儀的對比實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了本文所提出的滾
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