基于懸臂梁及抗體-微磁球技術(shù)的生化免疫傳感器的設(shè)計.pdf

1、本文主要研制一種新型免疫傳感器，這種免疫傳感器能從大量待檢測的生物分子群中，高分辨性及量化檢測出某種特異性生物分子。文中將采用有限元分析方法及完整的理論數(shù)學(xué)模型，設(shè)計仿真出這種基于懸臂梁結(jié)構(gòu)及抗體一微磁球技術(shù)的新型生化免疫傳感器，同時實現(xiàn)傳感器的可復(fù)用性。特別是此種免疫傳感器很容易通過微細(xì)加工技術(shù)進行批量生產(chǎn)。同時，應(yīng)用ANSYS、Matlab、Femlab等分析軟件，設(shè)計仿真出懸臂梁表面的微電磁場分布規(guī)律，從而得到實現(xiàn)抗體一微磁球技術(shù)

2、所需的微電感線圈結(jié)構(gòu)。文中介紹的方法與結(jié)論，為采用U型懸臂梁結(jié)構(gòu)和抗體-微磁球技術(shù)，在微通道內(nèi)對特異性生物分子的分離與檢測系統(tǒng)的實現(xiàn)打下了堅實的應(yīng)用基礎(chǔ)。 此生物傳感器的制造工藝介紹包括單晶硅工藝和絕緣體上硅工藝。因為二氧化硅埋層可以提供刻蝕終止，選用絕緣體上硅工藝制造可以大大降低懸臂梁的厚度。基于絕緣體硅的傳感器的版圖和工藝設(shè)計都是按照中國電子科技集團13所的MEMS線的工藝規(guī)范進行的。 同時本文還提出了多功能懸浮點陣