版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、壓電懸臂梁式微質(zhì)量傳感器由壓電諧振元件組成,是基于壓電效應(yīng)工作的傳感器。當(dāng)目標(biāo)物質(zhì)吸附到傳感器探測(cè)區(qū),其結(jié)構(gòu)諧振頻率發(fā)生偏移,通過(guò)檢測(cè)其諧振頻率偏移量的大小,可定量計(jì)算檢測(cè)物質(zhì)的質(zhì)量。壓電懸臂梁式微質(zhì)量傳感器具有自激、自感、實(shí)時(shí)、實(shí)地、高靈敏度和高檢測(cè)精度、適用環(huán)境能力強(qiáng)等特點(diǎn),在微生物檢測(cè)與識(shí)別、原子稱重、生物和化學(xué)檢測(cè)等方面具有非常廣泛的應(yīng)用。但是,隨著壓電微懸臂梁傳感器應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣,對(duì)其檢測(cè)靈敏度以及準(zhǔn)確地定量分析、流體環(huán)境檢
2、測(cè)等工作性能要求越來(lái)越苛刻,現(xiàn)有的質(zhì)量傳感器已不能滿足檢測(cè)靈敏度的要求,因此需要研究提高壓電懸臂梁式微質(zhì)量傳感器靈敏度的方法。本文針對(duì)不同的測(cè)試環(huán)境、測(cè)試要求,提出了通過(guò)改變關(guān)鍵彈性元件諧振器的結(jié)構(gòu)形式、諧振器的工作模式等措施來(lái)提高傳感器的檢測(cè)靈敏度和品質(zhì)因數(shù)的方法。論文具體研究?jī)?nèi)容和研究成果如下:
(1)壓電微懸臂梁傳感器的理論分析?;趹冶哿赫駝?dòng)理論,建立了懸臂梁理論分析模型,分析了與傳感器性能相關(guān)的結(jié)構(gòu)振動(dòng)機(jī)理、共振頻率
3、、靈敏度和品質(zhì)因數(shù)等因素對(duì)傳感器性能的影響。
(2)提出了通過(guò)優(yōu)化懸臂梁橫截面的結(jié)構(gòu)形式來(lái)提高傳感器的檢測(cè)靈敏度的方法,具體設(shè)計(jì)了V型折疊式懸臂梁結(jié)構(gòu)的微質(zhì)量傳感器。建立了傳感器的理論分析模型,設(shè)計(jì)并制備了該構(gòu)型的傳感器樣品,通過(guò)有限元仿真和實(shí)驗(yàn)詳細(xì)地分析了傳感器的靈敏度,討論了傳感器的幾何參數(shù)對(duì)傳感器靈敏度的影響。
(3)提出了基于高階工作模態(tài)的諧振式微質(zhì)量傳感器的設(shè)計(jì)方法。建立了基于高階模態(tài)的傳感器分析模型,設(shè)計(jì)
4、了基于四階諧振模態(tài)微質(zhì)量傳感器,制備了基于四階工作模態(tài)的微質(zhì)量傳感器實(shí)驗(yàn)試件,實(shí)驗(yàn)和仿真結(jié)果表明,基于四階工作模態(tài)的微質(zhì)量傳感器與一階模態(tài)相比,傳感器的靈敏度顯著提高。分析了傳感器彈性梁的長(zhǎng)度比和厚度比對(duì)傳感器靈敏度的影響。
(4)針對(duì)液體測(cè)量領(lǐng)域亟需解決的難題—消除被測(cè)溶液阻尼,本文提出一種新型微通道式液體濃度傳感器,利用迂回式的微通道有效擴(kuò)展了傳感器最敏感檢測(cè)區(qū)域,同時(shí)消除了液體阻尼對(duì)傳感器測(cè)量精度的影響。
本文
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 壓電微懸臂梁質(zhì)敏傳感器性能的研究.pdf
- 壓電微懸臂梁傳感技術(shù)的研究.pdf
- 壓電微懸臂梁陣列納克傳感器設(shè)計(jì)與加工方法基礎(chǔ)研究.pdf
- 自檢測(cè)壓電微傳感器靈敏度優(yōu)化及并行探測(cè)技術(shù)研究.pdf
- 微懸臂梁質(zhì)量傳感器測(cè)量原理的有限元分析.pdf
- 懸臂梁MOSFET霍爾磁傳感器研究.pdf
- 基于雙壓電PZT薄膜單元的懸臂梁式微力傳感器研究.pdf
- 基于構(gòu)型優(yōu)化的高靈敏度微質(zhì)量傳感器設(shè)計(jì)與分析.pdf
- 壓電智能懸臂梁傳感器、作動(dòng)器位置與數(shù)目?jī)?yōu)化設(shè)計(jì).pdf
- 壓電微懸臂梁傳感器用于平行度檢測(cè)中的若干關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 提高CMOS圖像傳感器靈敏度的工藝優(yōu)化方法.pdf
- 壓電微懸臂梁探針的制備工藝研究.pdf
- 壓電加速度傳感器復(fù)靈敏度比較法校準(zhǔn)研究.pdf
- 采用MEMS技術(shù)研制硅懸臂梁流速傳感器.pdf
- 光纖光柵懸臂梁測(cè)振傳感器的研究.pdf
- 基于MEMS技術(shù)懸臂梁陣列式脈搏傳感器研究.pdf
- 微納懸臂梁力學(xué)傳感器彎曲振動(dòng)模式的光學(xué)測(cè)量.pdf
- 壓電微懸臂梁共振檢測(cè)系統(tǒng)的研究.pdf
- 高靈敏度光纖壓力傳感器的研究.pdf
- 弧形PVDF傳感器的靈敏度研究與制作.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論