吸附效應對NEMS器件特性的影響研究.pdf_第1頁
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1、東南大學碩士學位論文吸附效應對NEMS器件特性的影響研究姓名：劉同慶申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：于虹20070326AbstractMicro—electromechanicalsystem(MEMS)isasystemwhichcontainsmicroelementsofheat，magnetism，liquidandoptics，mixessiliconmicroprocessingandfinemach

2、ining，together、^，itIImicroelectronicfabricationIthaswideapplicationinmanyareasNano—electromechanicalsystem(NEMS)witllllanoscaledimensionandsomespecialcharacteristics，isdevelopingfromMEMSNEMShasbggomeattractivemo∞andmore，

3、andhasbeenmuchdevelopedinlastfewyears，becauseitCanoffermanyexcellentcharacteristiCSHoweversomeclassicalmechanicstheoriesmaynotbeappliedtollanodevices，forexample，Yo岫g’Smodulus，ismuchdifferentbetweenthevaluesofmeasureandca

4、lculationbyclassicaltheoryInaddition，theinfluenceofthermoelasticdampingairdampinglatticedefects，andphononscatteringondevicecharacteristicsmaychangeWithsurfacetovolumeratiobeinglargerandlargertheproportionofsurfaceenergyi

5、shigherandhigherandthesurfaceeffectbecomesmoreimportantTheinfluenceofadsorptiondesorptionisverysmallandCanbeignoredinMEMS，butitshouldbeconsideredinNEMS，andithasbecomeanimportantfactorwhichaffectsNEMSdevicesThetopicofthet

6、hesisistostudytheinfluenceofadsorptiondesorptiononthecharacterofthenanobeamsThestudyfocusesonthreeaspects：theeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyofdoubleclampednanobeams，theinfluenceonQfactorandsurfacestressin

7、ducedbyadsorptiondesorptionThestudyontwoformeraspectsiscardedouttheoreticallyandthet11irdpartisstudiedbyusingsoftwareofmoleculardynamicsItisfoundthattheeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyisverylarge，muchlarge

8、rthanthatofairdampingAdsorptiondesorptionmayalsoaffecttheQfactordependingonenvironmentsuchastemperatureandairpressureAdsorption—desorptionCallinducesurfacestress，whichCanmakenanocantileverbendInaword，innanoscale，theinflu

9、enceofadsorptioncall’tbeignored，itmaybecomedominantfactoratsomeaspectsTheresultsCanbehelpfultodesignNEMSdevicesandanalyzedevicecharactersKeyword：Nanoelectromechanicalsystem(NEMS)，effectofadsorption，resonantfrequencyquali

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