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1、本文研究了一種新的相變記錄材料—GaSbBi。對(duì)靶材的組織與性能,薄膜的結(jié)構(gòu)、結(jié)晶動(dòng)力學(xué)及光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行系統(tǒng)的測(cè)試分析。 采用冷等靜壓+熱等靜壓工藝制備GaSbBi靶材。該系列靶材為GaSb+(Sb,Ⅸ)共晶組織,具有很好的致密度,具有合適的熔點(diǎn)溫度。同時(shí),隨著Ⅸ含量的增加,物質(zhì)的晶格參數(shù)變大,熔點(diǎn)降低。 薄膜的X衍射分析表明,結(jié)晶態(tài)薄膜隨著Bi含量的增加,Sb相的晶格參數(shù)c值增大。對(duì)不同退火溫度的Gal2Sb79.2Bi
2、s.s薄膜的XRD分析表明,退火溫度的改變對(duì)晶粒大小和結(jié)晶度有較大的影響,350'C退火晶粒平均尺寸最大,400℃退火則結(jié)晶度最好。 對(duì)薄膜的DSC測(cè)試分析表明,隨著Bi的含量的增加,結(jié)晶溫度下降,通過(guò)Kissinger方法計(jì)算得到晶化激活能。在摻雜成分范圍內(nèi),晶化激活能隨著Ⅸ的含量的增加而降低,從而提高非晶薄膜的晶化速率,但晶化活化能均大于2.0ev,因此依舊滿足穩(wěn)定性要求。 薄膜的分光光度計(jì)測(cè)試表明,Gal2Sb-/
3、9.2Bis.8的性能滿足光學(xué)性能要求,結(jié)晶態(tài)薄膜的吸光度高于非晶態(tài)的吸光度,可以降低物質(zhì)在讀取信息的變形,襯比度最小為28.78﹪滿足光學(xué)性能反射率的要求。GaxeSba8和Gal2Sb83.6Bi4.4讀取信息的時(shí)候有可能會(huì)造成信息的丟失。通過(guò)對(duì)Gal2Sbs8、Gal2Sb83.613i4.4和Gal2Sb?9.2Bi8.8三種薄膜的對(duì)比分析,得到了隨著Bi含量的增加,透射率增加,吸光度減小,光學(xué)禁帶寬度相差很小,Gal2Sb83
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