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文檔簡介
1、本文利用粒子模擬的靜電模型，首先模擬了容性雙電極射頻放電的一些基本特性，分析了鞘層和電子在兩極板間振蕩的原因。同時討論了兩種增大放電產(chǎn)生等離子體密度的方法——提高射頻頻率和增大中性氣體壓強，并說明了提高射頻頻率會增大等離子體密度的理論根據(jù)，以及增大中性氣體壓強后在粒子密度變化圖象出現(xiàn)多峰的原因。 其次利用粒子模擬的電磁模型分別模擬了低壓和高壓情況下外加弱磁場對容性放電性能的影響，發(fā)現(xiàn)低壓情況下放電產(chǎn)生的等離子體密度迅速增加；高壓
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