多變量控制圖的理論分析與實(shí)際應(yīng)用.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，集成電路的集成度已達(dá)到109的量級(jí)，而失效率則已經(jīng)降到10FET，從而對(duì)微電路生產(chǎn)的工藝質(zhì)量和可靠性評(píng)價(jià)技術(shù)提出了新的要求。采用先進(jìn)的質(zhì)量保證和評(píng)價(jià)技術(shù)應(yīng)用在我國(guó)的微電路生產(chǎn)方面顯得尤為緊迫。 本文針對(duì)微電路生產(chǎn)的實(shí)際特點(diǎn)，在微電路生產(chǎn)工藝質(zhì)量控制的SPC系統(tǒng)中引入了多變量控制圖技術(shù)，解決了微電路生產(chǎn)中的多變量受控分析問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了微電路制造中具有多元特性工藝的控制。針對(duì)多變量控制圖的失控因素的診斷問(wèn)題

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