高速芯片與組件互連結(jié)構(gòu)參數(shù)提取.pdf

1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文高速芯片與組件互連結(jié)構(gòu)參數(shù)提取姓名：王欣申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：電磁場(chǎng)與微波技術(shù)指導(dǎo)教師：李征帆2003.2.1上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文對(duì)其進(jìn)行合理的簡(jiǎn)化，將它看作是四層介質(zhì)結(jié)構(gòu)以便于分析和計(jì)算。為了分析多層介質(zhì)多導(dǎo)體互連線的電特性，首先用鏡像格林函數(shù)法計(jì)算了求取了位于三層介質(zhì)結(jié)構(gòu)中的格林函數(shù)級(jí)數(shù)表達(dá)式，在此基礎(chǔ)上推導(dǎo)了四層介質(zhì)結(jié)構(gòu)中格林函數(shù)的三重級(jí)數(shù)的表達(dá)式。然后用層次法的思想對(duì)導(dǎo)體表面進(jìn)行劃分，按照鏡像電荷的

2、距離的多少和電量的大小來(lái)對(duì)導(dǎo)體表面采用不同的網(wǎng)格劃分?jǐn)?shù)目以加快計(jì)算速度。本文用以上方法提取了二維和三維結(jié)構(gòu)的多層介質(zhì)多導(dǎo)體互連線的頻變電容和電導(dǎo)參數(shù)。卜—刁廠第三章用部分元等效的方法對(duì)焊接引線進(jìn)行建模來(lái)分析它的電特性。／部分元等效的方法將整個(gè)焊接引線分為若干分塊，再將電磁積分L方程離散化得到電路模型，每一個(gè)分塊為一個(gè)電路單元，整個(gè)等效電路由各單元作為部分元件組合而成。本文分析了焊接引線的電特性，計(jì)算了散射參數(shù)。匆77對(duì)于上述各種分析方法