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1、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)技術(shù)是當(dāng)前研制和生產(chǎn)先進(jìn)化合物半導(dǎo)體材料的最主要技術(shù).該文結(jié)合GaN材料生長MOCVD系統(tǒng)的研制,設(shè)計(jì)了相應(yīng)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng).該系統(tǒng)采用兩級(jí)分布式控制結(jié)構(gòu),應(yīng)用一臺(tái)工控機(jī)進(jìn)行系統(tǒng)的監(jiān)控管理和數(shù)掘處理,利用智能儀表等完成生產(chǎn)現(xiàn)場的過程控制,選取數(shù)據(jù)采集控制板卡聯(lián)結(jié)工業(yè)控制計(jì)算機(jī)與智能儀表等控制部件,以此實(shí)現(xiàn)材料生長過程的全自動(dòng)控制.軟件開發(fā)中采用模塊化設(shè)計(jì)方法,將系統(tǒng)劃分為若干功能模塊;監(jiān)控界面采用圖形
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