激光微細(xì)熔覆直寫技術(shù)制作厚膜溫度傳感器的初步研究.pdf

1、傳感器在信息社會的發(fā)展中起著舉足輕重的作用。作為傳感器家族中的一員，厚膜傳感器朝著小型化、集成化、高精度方向發(fā)展。與傳統(tǒng)的厚膜傳感器制作技術(shù)相比，激光微細(xì)熔覆直寫技術(shù)具有無掩模限制，柔性化程度高，制作周期短，圖形分辨率高、質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)，顯示出良好的工業(yè)應(yīng)用前景。 本課題利用釕系厚膜熱敏電阻漿料，在96﹪wt 的Al2O3 的陶瓷基板上成功地制作出熱敏電阻器。熱敏電阻圖形的極限線寬線距能達(dá)到60 μ m ，制備時激光束的掃描速度可

2、達(dá)70mm/s 。元件的TCR 值為2330ppm/℃，熱響應(yīng)時間2.3S,線性度<1 ℃，有著良好的重復(fù)性、熱穩(wěn)定性和遲滯性。 通過實(shí)驗(yàn)得出了膜層預(yù)置工藝、激光處理工藝、高溫?zé)Y(jié)工藝中參數(shù)對元件性能的影響規(guī)律。分析了熱敏元件的電極制作工藝，指出電極的制作工序應(yīng)該在電阻制作工序之后，而且兩種漿料可以同時進(jìn)行燒結(jié)以簡化工藝。對所制作熱敏電阻元件的各項(xiàng)電性能進(jìn)行測量，并與傳統(tǒng)工藝制作的元件進(jìn)行了比較，測試結(jié)果證實(shí)新工藝制作的元件具有