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1、電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文激光微加工制作的光纖法珀高溫溫度與折射率傳感器研究姓名:孫東申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):光學(xué)工程指導(dǎo)教師:饒?jiān)平?0100501ABSTRACTABSTRACTMeasurementofrefractiveindexandtemperatureareofgreatimportanceinthefieldofmetallurgyelectricitychemicalindustryaerospaceandSOonOpt
2、icFiberSensingtechnologyWaSgainedmoreandmoreattentionbecauseofitsinherentadvantagesandhadinsurmountablecompetitivenessoverelectricsensorsinthesefieldsThispaperdealswiththemanufactureprocessandcharacteristicsoflaserproces
3、sedandminiaturizedfiberopticFabryPerottemperaturesensorsandphosgeneFabry—PerotrefractiveindexsensorsAndtheresearchresultswillbesummarizedasfollowsAnovelminiaturefiberopticFabryPerotrefractiveindexsensormachinedby157nmlas
4、erisproposedThesensorheadconsistsofamicroairF—Pcavitynearthetipofasingle—modefiberandhaveamicrochannelonthefibertipThemicrochannelisusedastheentranceforliquidundertestTwothmfilmsthatarecoatedatreflectiveinterfacesoftheFP
5、cavityasmirrorsareensurehighopticalcontrastrespectivelyinexperimentARIresolutionof1130887nm/RIunit(RaU)isachievedSuchasensorhasalotofoutstandingadvantagescomparedwithotherfiberopticRIsensors,forexampleverysmall,rigid,hig
6、hresolution,excellentlinearitywidemeasurementrange,eta1ItisanticipatedthatthisminiaturesensorcouldmeettherequirementsforpracticalapplicationsandfindimportantapplicationsinanycaSewheresmallsensorsizeisessential,suchasinbi
7、omedicaldiagnosticLaserprocessedquartzfiberopticFabry—PerottemperaturesensorsAmethodmanufacturingminiaturefiberopticFabryPerothightemperaturesensorsisprovidedThesensorismanufacturedbylaserbeamgroovingoneendofcommonsingle
8、modefiberandthenweldingthenotchsectiontosiliconsinglemodefiberFringesoftheminiaturizedfiberopticFabryPerothightemperaturesensormanufacturedintheexperimentaresmoothanditscontrastratioachieves25dBTheexperimentofthetemperat
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