機(jī)器視覺在全自動(dòng)探針臺(tái)中的應(yīng)用.pdf

1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，晶圓片測試成為集成電路生產(chǎn)制造的一道重要的工序，準(zhǔn)確的測試能提高產(chǎn)品的質(zhì)量，減少不必要的損耗。測試的方法多種多樣，探針測試是其中最主要的方法，所以探針測試系統(tǒng)成為現(xiàn)代工業(yè)控制中一個(gè)獨(dú)立的研究領(lǐng)域。人們對探針臺(tái)的研究已有二十年的歷史，在這段時(shí)間里，探針臺(tái)經(jīng)歷了由手動(dòng)到全自動(dòng)的發(fā)展歷程，現(xiàn)在國際上已經(jīng)重點(diǎn)研究全自動(dòng)探針臺(tái)。國內(nèi)對探針臺(tái)的研究起步較晚，在全自動(dòng)領(lǐng)域尚未有完善的發(fā)展，主要體現(xiàn)在對視覺系統(tǒng)，溫控系統(tǒng)和全反饋系

2、統(tǒng)的研究不夠。
　　本文首先研究了探針系統(tǒng)技術(shù)和視覺處理技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，詳細(xì)研究國內(nèi)已有的全自動(dòng)探針測試系統(tǒng)，包括其硬件結(jié)構(gòu)和軟件結(jié)構(gòu)，分析其不足之處。接著利用機(jī)器視覺理論，重點(diǎn)研究模板匹配，邊緣檢測，圖像連通性分析等圖像處理算法，結(jié)合現(xiàn)有探針臺(tái)的結(jié)構(gòu)，在全自動(dòng)探針測試臺(tái)上實(shí)現(xiàn)視覺定位與檢測的功能，包括：晶圓中心自檢，晶圓測試芯粒定位，晶圓片自動(dòng)掃直，芯粒墨點(diǎn)識(shí)別，以及自動(dòng)對針項(xiàng)目，這幾項(xiàng)功能都是國內(nèi)探針系統(tǒng)較薄弱的環(huán)節(jié)，然后對各