微型薄膜氣體傳感器研究.pdf

1、為了檢測(cè)空氣中特定氣體的濃度，以滿足不同工業(yè)環(huán)境的要求，本文在國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究（973計(jì)劃）項(xiàng)目“高性能電子產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造精微化、數(shù)字化新原理和新方法”（課題編號(hào)：2003CB716200）的資助下，對(duì)氣體傳感器的檢測(cè)原理、設(shè)計(jì)方法、制作工藝、封裝技術(shù)進(jìn)行了研究。具體研究了真空蒸發(fā)技術(shù)制備高靈敏度的乙醇?xì)怏w敏感膜的方法，最后成功研制出微型乙醇?xì)怏w傳感器。 本文首先介紹了氣體傳感器包括半導(dǎo)體式、燒結(jié)式、電化學(xué)式等類型氣體傳感器的檢測(cè)

2、原理；針對(duì)近年來(lái)在傳感器微型化的趨勢(shì)下的一些研究成果，確定了采用半導(dǎo)體式傳感原理制備微型乙醇?xì)怏w傳感器的制作方案。 其次研究氣敏薄膜的制備方法。在實(shí)驗(yàn)中使用SnO2粉末作為膜層基材，創(chuàng)新性地通過(guò)對(duì)SnO2基底摻雜Fe2O3催化劑顯著提高氣敏膜的敏感程度，制備出對(duì)乙醇?xì)怏w有較高靈敏度的薄膜。 再次，對(duì)微加工工藝進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究，在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出適合氣體傳感器的工藝方案。在理解、掌握相關(guān)工藝的基礎(chǔ)上對(duì)氣體傳感器進(jìn)行建模，編