集成薄膜型氣體傳感器的研究.pdf_第1頁
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1、黑龍江大學(xué)碩士學(xué)位論文集成薄膜型氣體傳感器的研究姓名：劉鑫申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)微電子機(jī)械加工系統(tǒng)指導(dǎo)教師：邱成軍20060603黑龍江大學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractInthelastfewyears，muchattentionhasbeenattractedtomicrogassensorsinthefieldofgassensingtechnologyTheintegratedthinfilmgassenso

2、rwasanewgenerationofgassensorwiththeadvantagesoflowpowerconsumptionandeaseofintegration，inwhichtheheatertemperaturedetectorelectrodesandsensitivethinfilmwereintegratedwiththecombinationofmicroelectronic，micromachiningand

3、thinfilmtechnologyInthethesis，a11integratedthin—filmN02gassensorwasrealizedbytechnologiesofmicroelectromechanicalsystems(MEMS)TheworkprincipleofsensorwaspresentedtheoreticallyThestructureandtechnologicalprocessweredesign

4、ed，simulatedandoptimizedTheresistance—temperaturerelationsofpolysiliconweremeasuredThesensitivefilmwasCuPcanditsstructureandsensitivemechanismweregivenTheCuPcwassynthesizedanditsthinfilmwaspreparedbyvacuumevaporationThec

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