犧牲層版圖信息提取及開口模型匹配研究.pdf

1、隨著微電子機械系統(tǒng)（MEMS）科研開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的快速發(fā)展，MEMSCAD的需求日益顯現(xiàn)。MEMS表面制造加工技術中的犧牲層腐蝕技術對器件的性能有著重要影響，因此利用MEMSCAD技術對犧牲層腐蝕過程進行模擬和控制對MEMS器件的制造有著重要的指導意義。 實用化的犧牲層腐蝕模擬必須建立與版圖的連接，通過版圖定義具體的犧牲層腐蝕區(qū)域。這就要求能夠直接從版圖讀取犧牲層和腐蝕開口的信息，包括具體的犧牲層形狀、尺寸、開口位置等，在此基礎上

2、利用合適的腐蝕模型對它進行腐蝕模擬。 目前，國內(nèi)外的研究工作主要是針對犧牲層腐蝕腐蝕模型的建立，已經(jīng)可以實現(xiàn)對一些基本結構例如懸臂梁、固支梁、圓形、矩形以及復雜的組合結構等的模擬。但都是通過指定一個具體結構，有針對的進行建模與分析。直接由版圖定義犧牲層圖形、開口位置以及類型的犧牲層工藝模擬尚未見報道。本文的研究工作圍繞基于版圖的犧牲層腐蝕模擬方法和相關軟件開發(fā)。 研究工作完成了版圖解釋、犧牲層分析、開口位置判斷、以及相關

3、模型調用的方法研究與相關軟件的編制和調試，已經(jīng)能夠成功地讀入并分析以CIF格式描述的版圖，實現(xiàn)了犧牲層釋放窗口的定位與類型判別。在此基礎上通過犧牲層與結構層版圖坐標的比較，實現(xiàn)了在正、負兩種版圖中對三種基本腐蝕類型的判斷，并能分別單獨顯示。對于每一種腐蝕類型，導出與腐蝕模型對應的腐蝕參數(shù)，導入腐蝕模型并將腐蝕參數(shù)導入模型實現(xiàn)了對犧牲層釋放過程的模擬。 軟件包括框架管理系統(tǒng)、版圖解析模塊、結構選擇模塊和腐蝕模擬模塊。本論文采用MF