薄膜晶體管液晶顯示器四次光刻工藝研究.pdf

1、隨著信息顯示技術(shù)的發(fā)展，顯示終端已經(jīng)由傳統(tǒng)的CRT顯示器轉(zhuǎn)變?yōu)槠桨屣@示器。具有輕、薄、無輻射及便攜式等特點(diǎn)的液晶顯示器已經(jīng)遍布到了我們的日常工作和生活中。經(jīng)過十幾年來的發(fā)展，TFT-LCD制造工藝也隨著產(chǎn)品設(shè)計(jì)的優(yōu)化、原材料的特性開發(fā)、設(shè)備技術(shù)的改進(jìn)及工藝控制能力的提升取得了大幅度的進(jìn)步。尤其是TFT的制程從最初的七次掩模光刻工藝發(fā)展到了目前成功應(yīng)用于量產(chǎn)的四次掩模光刻，大大的降低了制造成本，使TFT-LCD產(chǎn)品的價(jià)格變得能被越來越的人

2、們接受。
　　本論文將在對(duì)TFT及TFT-LCD的結(jié)構(gòu)及其工作原理進(jìn)行介紹的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)闡述行業(yè)內(nèi)廣為應(yīng)用的五次光刻工藝制程。通過對(duì)Gray Tone技術(shù)掩模板的研究和設(shè)計(jì)，介紹旨在降低制造成本的四次掩模光刻工藝技術(shù)的開發(fā)過程。
　　與此同時(shí)，針對(duì)工藝開發(fā)過程中Slit的設(shè)計(jì)對(duì)溝道處光刻膠的影響、Active殘留和源漏金屬殘留等課題進(jìn)行了測(cè)試研究。
　　四次掩模光刻工藝技術(shù)的成功開發(fā)并用于量產(chǎn)，降低了生產(chǎn)成本，為企業(yè)取