基于直線電機(jī)的氣浮工作臺(tái)進(jìn)給控制技術(shù)研究.pdf

1、超精密加工技術(shù)作為衡量一個(gè)國(guó)家制造技術(shù)水平的重要標(biāo)志，受到了世界各國(guó)的高度重視。超精密零件尤其是超精密光學(xué)元件，在航天、國(guó)防等尖端領(lǐng)域具有非常重要的戰(zhàn)略意義。
　　超精密加工機(jī)床進(jìn)給控制系統(tǒng)不同于一般的機(jī)床進(jìn)給控制系統(tǒng)，它要求很高的精度和剛度以及低速平穩(wěn)性能。本文針對(duì)大口徑光學(xué)晶體專用超精密加工機(jī)床進(jìn)給控制系統(tǒng)的要求，采用永磁直線電機(jī)作為氣浮工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)裝置，以高精度光柵尺作為位置反饋元件，完成了滿足光學(xué)晶體超精密加工要求的進(jìn)給控

2、制系統(tǒng)。
　　首先，基于永磁直線電機(jī)的工作原理，建立了其數(shù)學(xué)模型，設(shè)計(jì)了直線電機(jī)的電流/速度雙閉環(huán)控制系統(tǒng)，通過(guò)仿真驗(yàn)證了所用永磁直線電機(jī)的高性能，分析了外界干擾力對(duì)控制系統(tǒng)速度的影響。
　　其次，在仿真和分析的基礎(chǔ)上，建立了基于UMAC的光學(xué)晶體超精密加工機(jī)床直線電機(jī)進(jìn)給控制系統(tǒng)，通過(guò)合理的選擇控制參數(shù)，得到了進(jìn)給控制系統(tǒng)良好的動(dòng)態(tài)特性。并基于UMAC提供的數(shù)據(jù)采集軟件，完成了進(jìn)給控制系統(tǒng)的微位移和低速平穩(wěn)性實(shí)驗(yàn)，得到了良