精密氣浮工作臺多體動力學仿真與動態(tài)特性優(yōu)化.pdf

1、光刻機是集成電路制造業(yè)中的關鍵設備，精密氣浮工作臺作為光刻機的關鍵子部件，其工作性能直接決定了光刻機的工作性能，因此對工作臺進行研究具有重要意義。本文重點研究了光刻機精密氣浮工作臺的氣浮軸承特性、工作臺的多體動力學建模與仿真，并基于此對工作臺的動態(tài)特性進行了優(yōu)化。
　　本文首先基于可壓縮潤滑理論，確定了氣浮軸承氣膜模型的參數(shù)與三維模型；使用前處理軟件ANSYS ICEM CFD及流體仿真軟件FLUENT，在不同參數(shù)條件下對模型進行

2、了結(jié)構(gòu)性網(wǎng)格劃分及仿真，計算模型的壓力分布，得到氣浮軸承的承載力；重復上述過程，建立氣浮軸承在不同工況下的承載特性數(shù)據(jù)庫。介紹了精密氣浮工作臺的體系結(jié)構(gòu)，基于氣浮軸承的承載特性數(shù)據(jù)及其它相關數(shù)據(jù)成功建立了工作臺的多體動力學模型，計算分析了工作臺的固有頻率與振型，仿真得到工作臺在步進掃描過程中的動態(tài)特性。
　　參數(shù)化多體動力學模型，創(chuàng)建模型的設計變量與目標變量，編寫目標變量評價程序。組建優(yōu)化仿真模塊，使用計算機輔助優(yōu)化設計軟件Isi