頻閃成像與運動激勵同步控制系統(tǒng).pdf

1、微結(jié)構(gòu)運動特性不僅可用于評價MEMS器件性能，而且也可用于分析微結(jié)構(gòu)材料特性和機械力學(xué)特性等與MEMS可靠性相關(guān)的參數(shù)，因此微結(jié)構(gòu)運動測試技術(shù)已成為MEMS測試技術(shù)的重要組成部分。由于MEMS器件中微結(jié)構(gòu)的運動頻率較高，頻閃成像法得到了廣泛的應(yīng)用。本文針對靜電型MEMS周期運動測試的要求，設(shè)計并研制了一種基于FPGA平臺的頻閃成像和運動激勵同步控制系統(tǒng)。論文的主要內(nèi)容包括以下幾個方面： 1．對頻閃成像技術(shù)及其在微結(jié)構(gòu)周期運動測試

2、中的應(yīng)用進行分析，確定了其中頻閃照明、運動激勵及圖像采集等信號的控制時序及波形、頻率、幅度、偏置等技術(shù)指標，提出了基于FPGA平臺的頻閃成像和運動激勵同步控制系統(tǒng)的總體設(shè)計方案，并結(jié)合直接數(shù)字頻率合成技術(shù)，對其應(yīng)用于運動激勵信號產(chǎn)生的可行性進行分析； 2．完成了基于FPGA平臺的頻閃成像和運動激勵同步控制系統(tǒng)的電路設(shè)計與單元調(diào)試，該電路能與PC機進行串口通訊，在獲取相應(yīng)的工作參數(shù)后，輸出3路微結(jié)構(gòu)運動激勵信號、1路頻閃照明脈沖激